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                      首頁 > 技術文章 > 勻膠旋涂儀選購時需要注意的細節有哪些?

                      勻膠旋涂儀選購時需要注意的細節有哪些?

                      發布時間:2021-12-24      點擊次數:187
                        勻膠旋涂儀的運行可以按基片旋轉速度及膠質的變化,分為4個階段:滴膠,加速旋轉,勻速旋轉以及去邊,其中第3階段勻速旋轉階段是膠質涂層厚度和均勻性控制的重要階段。在滴膠前,膠質需經過亞微米級別的過濾處理,否則薄膜有可能形成彗星圖,星狀圖,或產生氣泡。
                        滴膠階段是將膠質溶劑沉積在基片上中心位置的過程??梢允謩拥渭?,或用配備的自動滴膠器滴加。一般而言,自動滴膠方式由于是自動機械化操作,薄膜的厚度,均勻性,及可重復性都很好,并且也可以減少易揮發的毒性氣體與身體接觸。而手動滴膠是人工操作,適合要求不高的薄膜制備。
                        勻膠旋涂儀選購時需要注意的幾個細節:
                        1、旋轉速度:轉速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速如果誤差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數據的。國產的某些勻膠機只能提供轉速范圍,并不能準確標定實時的轉速。進口的勻膠機雖然大部分能標定轉速,但是大部分轉速精度沒有國際標準認定。
                        2、真空吸附系統的構造
                        真空泵一定要無油的,壓力標定準確,國內生產的無油真空泵實在不敢恭維。因為任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,會導致基片吸附不住而產生“飛片”的情況,還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統造成完全堵塞。用過國產勻膠機的客戶常常會關心怎么清洗的問題,這一點許多國外的勻膠機做得不錯,他們有通過聯動機制,如果真空吸附力不夠的時候,不會開始旋轉。
                        3、材質的選擇
                        對于半導體化工行業的應用來說,材質的選擇尤為關鍵,大部分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質,因為這種材質的成本很低,不銹鋼的對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好,塑料對于較高溫度和壓力下易產生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會導致旋涂時,時高時低的顛簸狀態。自然無法得到好的旋涂效果。目前有些國外品牌采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯(特氟隆)材質。這兩種材質具備綠色環保、節約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優點。
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