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                      勻膠旋涂儀在使用過程中的使用注意事項

                      發布時間:2022-02-11      點擊次數:248
                        勻膠旋涂儀操作簡單,結構小巧緊湊,占地空間小,為實驗室提供了理想的解決方案??捎糜趯嶒炇翼椖拷ㄔO.作為用于除半導體外,還有硅片、芯片、基片、導電玻璃及制版等表面涂覆工藝,科研、教學之用。
                        勻膠旋涂儀的使用注意事項:
                        1.使用前主要檢查設備與真空泵和氮氣瓶的接口是否漏氣;
                        2.實驗時,依次打開設備電源開關,氮氣/干燥氣體瓶閥門,真空開關,結束時,先關真空,再關氮氣/干燥氣體瓶閥門;
                        3.氮氣/干燥氣體的壓力控制不宜過大建議氮氣瓶氣壓從0.35MPa起緩慢上調,直至設備控制面板上的CDA停止閃爍即停止調整;
                        4.嚴禁放置超出設備限定范圍的過大過重材料,否則將會損壞設備的旋控精度;
                        5.所甩樣片的尺寸要大于吸附盤有效尺寸2-3mm左右,如果用大吸附盤甩小的樣片就會產生漏氣,同時造成膠被吸入抽氣室,導致氣路堵塞;
                        6.如果不慎膠被吸入了抽氣室,要立刻進行清洗,否則吸附盤、光電盤、電機軸會黏在一起,造成電機轉不動,拆卸亦很困難;
                        7.氣路堵塞或氣泵損壞時電機也可運轉產生飛片,故在啟動電機前須確認氣泵的狀況良好及吸片確已吸??;
                        8.實驗期間設備閑置時,為了保護好泵的工作性能,請關閉真空泵,建議泵的連續作業不超過1小時;
                        9.實驗結束后,請拭去設備內腔殘留物,并清空廢液接收罐,使用原片遮住,將設各用塑料封套蓋好以避污染;
                        10.對于廢液廢氣的排放和處置,請遵守試劑使用的相關環保說明。
                      華儀行(北京)科技有限公司
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