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                      影響勻膠旋涂儀性能的關鍵參數有哪些?

                      發布時間:2022-03-09      點擊次數:46
                        勻膠旋涂儀一般包括托盤安裝于腔室內部,用于吸附基片;噴嘴,延伸入腔室內部,用于將去離子水、有機溶劑或光刻膠噴射到基片上;微波發生裝置,安裝于腔室側壁,用于產生微波對基片提供熱量;溫控系統,安裝于腔室上壁,用于控制微波發生裝置以設定微波加熱的功率、頻率、時間。依照微波勻膠設備及其方法,采用微波加熱脫水,快速蒸發基片內水分,降低涂膠工藝的時間成本、減小環境污染。此外微波干燥施加的熱量是從基片內部逐漸擴散到基片外部,從而減小干燥應力,使薄膜涂層既具有低的孔隙度又有較好的強度,避免干凝膠的開裂。
                       

                      勻膠旋涂儀

                       

                        影響勻膠旋涂儀性能的關鍵參數:
                        1、旋轉速度:
                        轉速的高低和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速如果誤差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數據的。
                        2、真空吸附系統的構造與清洗:
                        無憂真空泵壓力標定要準確,如果真空吸附力降低,會導致基底吸附不住而產生“飛片”的情況,還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統造成完全堵塞。勻膠機的清洗問題,在使用完勻膠機后,在泵打開的前提下,要用有機溶液如:丙酮,酒精等清洗氣孔。
                        3、片托材質的選擇:
                        對于半導體化工行業的應用來說,片托材質的選擇尤為關鍵,大部分勻膠機片托采用的是鋁合金或者普通塑料材質,因為這種材質的成本很低,鋁合金對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好,塑料對于較高溫度和壓力下易產生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會導致旋涂時,時高時低的顛簸狀態。自然無法得到好的旋涂效果。目采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯(特氟?。┎馁|。這兩種材質具備綠色環保、節約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優點。
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